真空燒結(jié)爐主要利用的是中頻感應(yīng)加熱的原理，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，這是一種半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中新穎的工藝裝備。在高溫下，使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián)，晶粒長大，空隙（氣孔）和晶界漸趨減少，通過物質(zhì)的傳遞，其總體積收縮，密度增加，最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體。那么，如何延長真空燒結(jié)爐的使用壽命？
1、適當?shù)沫h(huán)境濕度
實驗電爐和控制器的相對濕度不得超過85％，且不得有導(dǎo)電性的浮塵，爆炸性氣體和腐蝕性刺激物，以免破壞金屬絕緣和電子部件。碳化硅棒應(yīng)放置在干燥的地方，以防止鋁頭吸收水分并發(fā)生變化。在施工過程中，如果發(fā)現(xiàn)某些桿呈白色，而有些桿呈深紅色，則表明每個桿的電阻都不同，因此有必要在重新施加之前用相似的電阻值更換該桿。
2、合適的溫度
高溫真空燒結(jié)爐的運行與工作溫度有很大關(guān)系。控制器的工作環(huán)境溫度限制在0-50℃，不能太高或太低。
3、確保設(shè)備連接正確
在實驗電爐的運行狀態(tài)下，檢查電爐和控制器的連接器的連接是否完好。
4、沖洗電爐
做好沖洗實驗電爐的電爐的工作。應(yīng)及時清除爐中的金屬氧化物，熔渣和碎屑，并應(yīng)小心處理工件，以防止碳化硅棒損壞。
5、不符合要求的工件嚴禁進入爐內(nèi)。
使用高溫真空燒結(jié)爐和控制器時，請確保爐溫在額定功率范圍內(nèi)，并且爐溫不能超過極限使用溫度。禁止將潮濕的工件裝入爐中。在加熱爐中，水分含量很高的加熱工件應(yīng)提前干燥。
6、避免對加熱元件造成其他損壞
碳化硅棒是碳化硅的重結(jié)晶產(chǎn)物。堿，堿金屬，硫酸和硼化合物在高溫下可能對其產(chǎn)生腐蝕作用，而水蒸氣會對其產(chǎn)生影響。有很強的氧化作用：氫氣和含有大量氫氣的氣體會在高溫下分解碳化硅棒，因此必須嚴格注意其應(yīng)用。
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